固体器件优越性

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　　一直以来,准分子激光器在紫外"冷加工"应用领域中占有主导地位,但是,准分子技术有许多固有的缺点:所有的准分子激光器都要使用有毒气体,而特殊气体的更换,存储和调整过程非常麻烦.同时,它们的体积庞大,价格昂贵, *作和维修费用高;不仅如此,最大的问题在于准分子激光器的输出光束大而方,空间质量较差,这严重地限制了光束的聚焦性,使得在微处理过程中一定要使用掩模板。准分子激光器对一步钻出相同形状的孔和重复性的工作是不错的(如加工喷墨打印机磁鼓喷嘴上的孔),但总的说来效率并不高,只有1%的脉冲能量作用于加工表面,而其它约99%的光能量损失于模板。此外,掩模法的灵活性有限,如果图形变化需要更换掩模板时,整个加工过程必须停止。