固体紫外激光器的应用

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　　一直以来受限于输出功率不够大,不能够满足加工需要。随着更可靠的半导体泵浦固体技术,以及更为可靠的三倍频机理的发展,情况已有所改变。新的三倍频半导体泵浦固体激光器成为准分子激光器的竞争者,能量密度水平相当,但重复频率更高,光束质量更好。Coherent公司生产的AVIA 355-1500型半导体泵浦固体激光器,输出波长355nm,平均功率1.5W,最高重频可达100kHz,光束质量好,非常适合于微处理应用场合。好的光束质量,从而优秀的聚焦能力使您可摆脱掩模板进行加工,通过计算机控制的扫描振镜系统将光束传导到工作台上的任何位置),使用CAD/CAM软件通过直接刻写的方法执行钻孔、刻线或者切割;当图样变化时,无须更换硬件。钻孔实验表明,比聚焦点大的任意尺寸和形状的钻孔和切割都可以通过反复雕琢的方式进行。

　　高重复频率是现代DPSS激光器的又一突出优点。准分子激光器的重复频率一般在几百赫兹.而AVIA的重频可达100kHz。高的重复频率在低密度孔分布应用中以及布线或切割加工中可大大提高生产量。例如,在2密尔(50微米)厚的KaptonTM聚酰亚胺材料上钻30微米直径的孔大约需要200个脉冲,能量密度为0.2J/cm2。AVIA工作在50kHz重频时1秒钟可以打大约250个孔,而工作在200Hz重复频率下的准分子激光器打出一个相同参数的孔需要整整1秒钟。

　　AVIA脉冲重复频率从单脉冲到100kHz可调,使您可以非常快速和灵活地控制脉冲能量和平均功率。用这些方法,可以在要求高的加工过程中主动改变重要的加工参数,比如选择性地去除聚合物涂层金属,反之亦然。在很多应用中,例如钻盲通道孔、切开聚合物绝缘材料露出填埋导电垫片、切割电路板等,这种功能是非常有用的。

　　在加工要求高的大批量生产环境下,不允许过多的维修或停工,紫外半导体泵浦固体激光器在设计和生产技术上的先进性,使之成为系统集成的理想选择.全固态封离式的设计,结构紧凑,坚固耐用,使得这类激光器非常容易与高效的生产环境相配合;同时,可靠性高,作简便,以及对水电设施要求低等优点,使得它们日渐成为工业生产领域中广为使用的设备。